其中q、r、R1、m、X和Z‑是如本文中所定义。所述聚合物适用作光致抗蚀剂组合物的组分,所述光致抗蚀剂组合物进一步包括在酸的作用下在碱性显影剂中展现溶解度的变化的第二聚合物。"/>
公开/公告号CN105504118B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限责任公司;
申请/专利号CN201510650560.6
申请日2015-10-09
分类号C08F120/38(20060101);C08F220/38(20060101);C08F220/18(20060101);C08F220/32(20060101);C08F220/28(20060101);C08F4/04(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/039(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈哲锋;胡嘉倩
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 10:30:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-30
授权
授权
2016-05-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C08F120/38 申请日:20151009
实质审查的生效
2016-05-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 120/38 申请日:20151009
实质审查的生效
2016-04-20
公开
公开
2016-04-20
公开
公开
机译: 包含具有光酸产生官能团和碱溶解度增强官能团的重复单元的聚合物,以及相关的光刻胶组合物和电子器件形成方法
机译: 包含具有光酸产生官能团和碱溶解度增强官能团的重复单元的聚合物,以及相关的光刻胶组合物和电子器件形成方法
机译: 具有产生光酸的官能团和增强碱溶性的官能团的聚合物单元,相关的光致抗蚀剂组合物,以及形成电子装置的方法