公开/公告号CN105336635B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201410341944.5
申请日2014-07-17
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人吴贵明
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:29:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-09
授权
授权
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20140717
实质审查的生效
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20140717
实质审查的生效
2016-02-17
公开
公开
2016-02-17
公开
公开
机译: 微图案检查装置,CD-SEM装置的控制装置,微图案检查方法,CD-SEM装置的控制方法以及可通过计算机读取的记录介质
机译: 精细图案检查装置,CD-SEM装置的管理装置,精细图案检查方法,CD-SEM装置的管理方法和程序
机译: CD-SEM的微图案检查装置控制装置CD-SEM的微图案检查方法控制方法及记录介质可通过计算机读取