公开/公告号CN104465290B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN201310438823.8
申请日2013-09-24
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣;张天舒
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 09:52:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-03
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更前: 变更后: 申请日:20130924
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-02-08
授权
授权
2017-02-08
授权
授权
2015-04-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20130924
实质审查的生效
2015-04-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20130924
实质审查的生效
2015-03-25
公开
公开
2015-03-25
公开
公开
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