一种用于检测溅射镀膜机靶材底座真空性能的检测装置

摘要

本实用新型提供了一种用于检测溅射镀膜机靶材底座真空性能的检测装置，属于机械技术领域。它解决了现有的检测装置检测速度慢的问题。本检测装置，包括箱盖，打开箱盖后可将靶材底座移入第一内腔；检测箱一侧开设有皮带伸至检测箱外部的通孔；驱动机构具有驱动轴和用于连接皮带的皮带轮，驱动轴与皮带轮固定连接，驱动轴驱动皮带轮转动；连接管安装在检测箱的外侧，导气通道与第一内腔连通，连接管用于连接外部的气管，导气通道与气管连通；当靶材底座移入第一内腔后，靶材底座与检测箱相配合形成密闭的第一内腔。本实用新型操作方便，无需将靶材底座安装在机台上就能提前实现检漏，并且检测过程迅速。确保了靶材底座的质量，具有极大的经济效益。