一种压电微泵的振动板及其压电微泵

摘要

本实用新型涉及压电微泵技术领域，尤其是一种压电微泵的振动板及其压电微泵，该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部，本实用新型的压电微泵的振动板一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险，另一方面，通过设置由内悬臂部、中间悬臂部和外悬臂部构成的悬臂结构，在有限的空间内等效增加了悬臂结构的长度和宽度，能够减小悬臂结构变形过程中悬臂结构与梁部以及悬臂结构与连接部之间连接位置处的应力集中，降低工作过程中，悬臂结构从根部断裂失效的风险，提高使用寿命。