公开/公告号CN213679811U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 歌尔微电子有限公司;
申请/专利号CN202022605003.1
申请日2020-11-11
分类号B81B7/00(20060101);B81B7/02(20060101);
代理机构44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所;
代理人梁馨怡
地址 266100 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
入库时间 2022-08-22 22:54:19
机译: MEMS传感器,MEMS传感器的制造方法和电子设备
机译: MEMS传感器,制造MEMS传感器的方法以及电子设备
机译: MEMS传感器,电子设备以及制造MEMS传感器的方法