公开/公告号CN209088259U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉孚晟科技有限公司;
申请/专利号CN201822185569.6
发明设计人 马延峰;
申请日2018-12-25
分类号
代理机构南京纵横知识产权代理有限公司;
代理人徐瑛
地址 430000 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新四路40号葛洲坝太阳城24号楼101室
入库时间 2022-08-22 09:47:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-09
授权
授权
机译: 带预脉冲的主振荡器,用于EUV光源-功率放大器驱动的激光器
机译: 主振荡器—功率放大器驱动带预脉冲的EUV光源激光器
机译: 主振荡器功率放大器驱动带预脉冲的EUV光源激光器