公开/公告号CN202576547U
专利类型实用新型
公开/公告日2012-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN201120453007.0
申请日2011-11-15
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-21 23:37:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-05
授权
授权
机译: 具有多腔室设计和薄膜沉积方法的薄膜沉积装置
机译: 在薄膜沉积设备中加载腔室以及使用该腔室去除灰尘的方法
机译: 薄膜沉积装置腔室的清洁方法,以减少腔室的损坏