公开/公告号CN103441102B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 华东光电集成器件研究所;
申请/专利号CN201310371881.3
申请日2013-08-23
分类号
代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事务所;
代理人杨晋弘
地址 233042 安徽省蚌埠市经济开发区财院路10号
入库时间 2022-08-23 09:28:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-26
授权
授权
2014-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/78 申请日:20130823
实质审查的生效
2013-12-11
公开
公开
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