电感耦合等离子用天线单元以及电感耦合等离子处理装置

摘要

本发明提供能够进行矩形基板的外侧区域的等离子分布控制的电感耦合等离子用天线单元。在天线单元（50）中，天线（13）的形成感应电场的部分整体构成与矩形基板（G）对应的矩形平面，并且，天线（13）具有将多条天线电线卷绕成漩涡状而成的第一天线部（13a）和第二天线部（13b），第一天线部（13a）的多条天线电线被设置成，形成矩形平面的四个角部、并且在与矩形平面不同的位置将四个角部结合起来，第二天线部（13b）的多条天线电线被设置成，形成矩形平面的四条边的中央部、并且在与矩形平面不同的位置将四条边的中央部结合起来。