用于制造电声部件中的介电层的方法以及电声部件

摘要

本发明涉及一种用于制造电声部件(1)中，特别是利用声表面波或者声体波工作的部件中的介电层(3)的方法，该电声部件具有基底和所配属的电极结构，其中至少部分地通过如下方式形成介电层(3)，即：借助热蒸发来沉积从下列层蒸镀材料组中选取的至少一种层蒸镀材料：蒸镀玻璃材料如硼硅玻璃作为多组分系统，或者单组分系统如二氧化硅、氮化硅和氧化铝。此外，本发明涉及一种电声部件。