公开/公告号CN1168989C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社村田制作所;
申请/专利号CN02141510.2
发明设计人 酒井哲生;
申请日2002-08-30
分类号G01R1/067;G01R31/01;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人龚海军
地址 日本京都府
入库时间 2022-08-23 08:56:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-09-29
授权
授权
2003-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-03-19
公开
公开
机译: 检验装置的检验方法,特别是标签座检验装置的检验方法
机译: 检验装置,检验方法和用于检验基板保持构件变形的非暂时性存储介质以及包括该检验装置的基板处理系统
机译: 检验装置,检验方法,检验程序和记录该检验装置的计算机可读记录介质