平均自由程测量装置、真空计和平均自由程测量方法

摘要

公开了一种平均自由程测量装置、真空计和平均自由程测量方法，使得能够直接测量带电粒子的平均自由程。具体地，所公开的平均自由程测量装置配置有：离子源，用于产生离子；集电体(24a)，用于检测具有第一飞行距离(L1)的第一带电粒子的数量，其中所述第一飞行距离为相对于所述发生源的0以上的飞行距离；以及集电体(24b)，用于检测具有比所述第一飞行距离长的第二飞行距离的第二带电粒子的数量。所述平均自由程测量装置的控制单元根据所述第一带电粒子的数量与所述第二带电粒子的数量之间的比值来计算所述平均自由程。