具有带球形凹痕的基底、非晶硅(锗、锡)光敏层和非晶硅(氧、碳、氮)表面层的光接收元件

摘要

光接收元件的光敏层由含硅原子及含锗、锡原子中至少一种原子的非晶材料构成，表面层由含硅原子及含氧、碳、氮原子中至少一种原子的非晶材料构成，基底表面由具有微小不平整内表面的球形凹痕构成，光频带隙匹配在光敏层和表面层之间的界面上。该光接收元件解决了所有用非晶硅制成光接收层的传统元件中的问题，特别是有效地防止了由干涉现象在图像中引起的干涉条纹，即使用可能产生干涉的相干激光束作光源，也能形成高质量图像。