公开/公告号CN115586726A
专利类型发明专利
公开/公告日2023-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN202110756197.1
发明设计人 李卫军;
申请日2021-07-05
分类号G05B15/02;G05B19/418;
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人王宇杨
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号中科院半导体研究所
入库时间 2023-06-19 18:14:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-10
公开
发明专利申请公布
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