一种多路小尺寸小电阻通电老化与电阻监测系统及方法

摘要

本发明公开了一种多路小尺寸小电阻通电老化与电阻监测系统及方法，系统包括源表通电老化模块、数据采集处理模块、四探针法探针台和Labview测试程序，源表通电老化模块将多路小电阻串联同时持续通电，同时给予一定的脉冲电流用于提高电阻测试的准确性，数据采集处理模块用于切换采集不同小电阻的电压数据，并进行处理和显示，从而计算获取实时电阻数据，探针台采用四探针法设计，用于定位芯片上的小尺寸测试点并且消除接触电阻。本发明可以精确测试芯片上微欧、毫欧级别的小尺寸小电阻，并且可以多路同时测试，可以实时监测通电老化过程中的电阻变化，提高了测试精度和效率，节约了人工监测时间，解决了小电阻测不准的问题。