一种快速退火的方法

摘要

本发明公开了一种快速退火的方法，其退火方法包括以下步骤：S1、首先可将立式退火炉的顶部和侧面以及门体向下位置依次进行同时开设多个风道，并且进行通风管道的安装和对接排布，并对管道进行实时测试实现贯通通风，通过对风道重新布局进行实时调控温度；S2、然后在相应的风道内侧安装相应的通风排风装置，将通风排风装置通过导线外界电源和控制开关，并且将通风排风装置与外部相应的风力调节控制器进行实时电性连接；S3、最好可根据实际排风通风的需要进行实时控制调节通风排风装置运行功率。本发明实现了硅片快速降温的效果，有助于更高效的生产，退火更充分，同时使硅片电阻率更加稳定。