PBN坩埚制备方法

摘要

一种PBN坩埚制备方法包括步骤：通过化学气相沉积形成PBN坩埚毛坯，PBN坩埚毛坯具有沿轴向依次连接的各具有相同且恒定的毛坯厚度的籽晶引晶段、放肩生长段以及等径生长段，等径生长段的内壁沿轴向与放肩生长段的内壁相切；将PBN坩埚毛坯固定在车床并旋转；从籽晶引晶段和放肩生长段的外表面进行加工直至厚度达到预定要求，再打磨籽晶引晶段和放肩生长段的外表面至光亮；从等径生长段的外表面进行加工，直至厚度达到预定要求且等径生长段的厚度小于放肩生长段的厚度，在等径生长段与放肩生长段的交界处形成平的台阶，再打磨等径生长段的外表面至光亮；将PBN坩埚的等径生长段的多余的长度切割；将切割好的PBN坩埚进行煅烧；将煅烧好的PBN坩埚清洗干燥。