一种温湿度多模态传感器及其温湿度测量方法

摘要

本发明公开了一种温湿度多模态传感器及其温湿度测量方法，涉及传感器技术领域，所述温湿度多模态传感器包括：从上到下依次设置的温湿敏二维材料薄膜层、电极薄膜层和衬底；温湿敏二维材料薄膜层的电容的大小不随温度的变化而变化；电极薄膜层用于输出温湿敏二维材料薄膜层的电路参数；电路参数包括电容和电阻；电路参数用于确定温湿度多模态传感器所处的待检测环境的温度和湿度。本发明只需使用电容的大小不随温度的变化而变化的温湿敏二维材料薄膜层，无需利用两种不同的敏感元件，在实现测量温度和湿度的同时，减小了传感器的尺寸，降低了成本。