无客体硅包合物的制造方法和无客体硅包合物的制造装置

摘要

提供无客体硅包合物的制造方法和无客体硅包合物的制造装置，使无客体硅包合物的生产率提高。该无客体硅包合物的制造方法包括合成工序和客体脱离工序，合成工序对包含宿主材料Si和客体材料的混合物进行热处理，从而合成硅包合化合物，客体脱离工序在从容器的内侧吸引气体的状态下，对收纳在容器中的硅包合化合物照射电磁波，从而使客体脱离。