成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法

摘要

根据本发明的成膜设备具有工艺腔室和设置在工艺腔室中并且形成粘合膜的处理单元。工艺腔室的内壁表面由对残留在工艺腔室中的气体或水(H2O)具有大的吸气效应的物质形成。