一种电子废液中双氧水去除剂的制法及处理双氧水的方法

摘要

本发明公开了一种电子废液中双氧水去除剂的制法及处理双氧水的方法，该双氧水去除剂的制法为：制备硫酸氧钛溶液，与PVP溶液混合得混合液；将多晶硅粉末浸泡于混合液中，锻烧，制得四价钛负载多晶硅纳米粉末；然后将水相流变改性助剂、非离子表面活性剂A、B混合后，加入四价钛负载多晶硅粉末，制得液态金属活性催化剂。处理双氧水的方法为：将双氧水去除剂添加至待处理的电子废液中，加热，进行催化氧化反应使双氧水浓度降低，然后对处理后的电子废液降温，排出；所述双氧水去除剂的添加量为2～5mg/L，本发明的方法制备的双氧水去除剂在处理晶圆废酸性清洗液时添加量少，与其他工艺添加金属盐相比，加药量减少15至200倍。