一种基于双自由度气浮导轨与气浮轴承的免解耦微空间力精确测量装置及测量方法

摘要

本发明属于力值测量领域，具体是一种基于双自由度气浮导轨与气浮轴承的免解耦微空间力精确测量装置和测量方法。该装置使用双自由度气浮导轨与气浮轴承测量微空间力，所述气浮导轨由导轨和滑块组成，气浮轴承由中心的转子和外圈的定子组成。气浮导轨通过管用快速接头向导轨与滑块接触的四个面之间的缝隙注入高压气体，可以使缝隙中形成承载能力极强的均匀气膜，气体润滑下导轨与滑块可以认为是无接触的装配，气浮轴承同理。故气浮的测力方法可以使内阻将至极低，近似为零，其提供的测量环境非常有利于实现力的高分辨力测量。测量过程中，气浮导轨中的气膜和气浮轴承中的气膜均可以一定程度上隔离振动，有利于提高测量装置的精度。