一种金刚石补偿性掺杂方法

摘要

本发明公开了一种金刚石补偿性掺杂方法，是通过控制在金刚石基片生长过程中，加入氮和硅元素，以促进金刚石基片表面（100）晶向基元的形成，同时修复金刚石基片表面缺陷，并且在合成得到金刚石单晶后，进一步对该金刚石晶体进行退火处理，以补偿金刚石晶体的缺陷，同时有效的调整晶体内部的能态结构，从而使得本发明能够获得高品质的金刚石晶体，另外，由于本发明仅需要在合成金刚石过程中加入含氮和含硅元素，同时对所合成的金刚石晶体进行退火处理，因此本发明制备金刚石晶体的方法简单易行，且能够以高成品率、快速生产高纯度的金刚石，从而有效解决了现有不能便捷地生产高纯度的金刚石的问题。