一种碳化硅场效应器件开启电压时移监控方法与系统

摘要

本发明提出了一种碳化硅场效应器件开启电压时移监控方法与系统,为待测件阵列板提供栅偏电压的电压源、检测待测件阵列板栅偏电压的电压检测模块；与电压源、电压检测模块和待测件阵列板相连并控制其开关的高速电子开关；控制高速电子开关对待测件栅偏电压的开关的时序及逻辑控制模块；由于栅氧介质层和碳化硅体材料之间存在电子陷阱，正向电压施加到栅极上会使得电子被电子陷阱俘获，导致开启电压的正向时移，本方案选取正向扫描与负向扫描两种方式，在不同模式下表征碳化硅场效应器件的开启电压；通过栅偏电压与开启电压测试模块之间的快速切换，实现了碳化硅场效应器件开启电压的原位测试，防止开启电压在实验后发生恢复，造成测试值的误差。