一种基于光杠杆原理的微悬臂梁振动测试系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于光杠杆原理的微悬臂梁振动测试系统及方法，涉及微传感器技术和振动测试领域；该测试系统在传统的光杠杆原理基础上，将入射光和出射光改成共光路设计，由光路测量及显微模块、激振模块、真空模块、数据采集模块、微动模块和计算机组成；该测试系统有效的克服了传统光杠杆原理需扩大臂长来提升系统灵敏度的缺点，现只需按照不同的测试对象，更换不同参数的物镜和透镜即可改变测试系统的灵敏度，有效地解决了现有微悬臂梁振动测试系统集成度低、成本高和噪声高等问题。