一种亚米级光学球面曲率半径的测试方法及装置

摘要

本发明为一种亚米级光学球面曲率半径的测试方法及装置，其克服了现有技术中存在的调整复杂，需要空间大，对环境要求高，不能同时测试多个元件的问题。光源照明具有一定特征尺寸的图案形成目标物，经待测光学球面一次反射成像，测试装置中的光学镜头二次成像，最终成像在相机光敏面上，本发明通过对相机采集到的图像处理分析，获得最终像的特征尺寸，将待测光学球面与测试系统中的光学镜头看作组合成像系统，计算出物、像特征尺寸总体比值，依据光学球面及光学镜头成像原理，计算出待测光学球面的曲率半径。测试装置包括特征目标物形成装置、光学镜头、相机、支架和上位机，特征目标形状装置与相机位于待测光学球面的同一侧。