杂散光测量装置及其测量方法、杂散光测量系统

摘要

本发明提供的一种杂散光测量装置及其测量方法、杂散光测量系统，其通过在工件台上设置第二传感器和反射率大于第二传感器但感光面面积小于第二传感器的第一传感器，并在掩模台上设置周围具有透光区的第一标记和第二标记，其中，测量光照射在第一标记上形成第一暗斑，照射在第二标记上形成第二暗斑。并通过剔除用第一传感器测量第一暗斑光强时额外引入的反射光，相应的能够精准的获得形成第一暗斑的杂散光在测量光中的光强占比，提升了对杂散光测量的精准性。