在光刻设备中的动态气锁隔膜和光瞳琢面反射镜的寿命终止监测以及隔膜破裂的检测

摘要

本文中的实施例描述用于在光刻设备中的动态气锁(DGL)隔膜和光瞳琢面反射镜的破裂检测和寿命终止监测的方法、装置和系统。一种用于检测在光刻设备中的动态气锁隔膜的破裂的方法包括：使用辐射源用测量束照射所述动态气锁隔膜，其中，所述动态气锁隔膜被布置于所述晶片与光刻设备的投影光学器件之间；以及通过使用反射收集光学器件来确定来自所述测量束的任何辐射是否被从所述动态气锁隔膜反射，其中，所述反射收集光学器件被布置于所述动态气锁隔膜上方。如果没有辐射被从所述动态气锁隔膜反射，则检测到所述动态气锁隔膜中的破裂。如果辐射被从所述动态气锁隔膜反射，则所述动态气锁隔膜没有破裂。