一种同位素电子特气原位丰度分析检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种同位素电子特气原位丰度分析检测装置及方法，包括四级杆质谱分析系统、进样阀和真空测量保持系统，进样阀采用针阀，其中，四级杆质谱分析系统以四级杆质谱仪为主体，构成同位素电子特气原位丰度分析检测装置的检测结构，进样阀与四级杆质谱分析系统连接，用于将检测气体导入四级杆质谱分析系统中，真空测量保持系统与四级杆质谱分析系统连接，用于测量和保持四级杆质谱仪中的压力，本发明适用于电子特气原位丰度分析检测，利用本发明的同位素电子特气原位丰度分析检测装置及方法，可以实时检测出0.01‑1％范围内同位素丰度，并且在高端特气分析检测领域具有通用性，极大促进同位素离心分离工艺的优化。