共封装光引擎系统及用于其的相变材料阵列的硅基调制器

摘要

本发明公开了一种共封装光引擎系统及用于其的相变材料阵列的硅基调制器，包括自下而上的SOI基体和条形波导组件，所述条形波导组件由狭缝直波导和GST相变材料结构构成，所述SOI基体的上表面设置所述狭缝直波导，所述GST相变材料结构呈阵列式嵌入所述狭缝直波导内，所述条形波导组件的外表面包裹有保护膜。本发明实现硅基调制器的小型化，随着每个硅基光电子器件尺寸的降低，使得每个器件在芯片上实际面积减小，导致单个器件的制备成本降低；更小的光学器件可以更好的与现有的CMOS工艺相兼容；随着硅基光电子器件尺寸的减小，在光限制因子保持不变的情况下，操作器件的总能量也会减小；器件尺寸的减小可以提高瞬态响应的速度，从而提高硅基的调制速度。