光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法

摘要

一种光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法，该光罩固持系统包括一内盒及一外盒。所述内盒配置来接收具有第一识别特征的一光罩，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，其被一外围区域围绕，所述光罩容置区限定一相应地布置成允许观察所述第一识别特征的第一观察区；及一内盖，配置来与内基座的外围区域接合，从而限定一用于容置所述光罩的内部。所述外盒配置来接收内基座，并包括：一外基座，其上限定一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内盒时，第二观察区域可观察地与第一观察区域对准；及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒。