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公开/公告号CN114744048A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-12
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN202210217020.9
发明设计人 崔寿永;元泰景;任东吉;约翰·M·怀特;崔弈;张雪娜;
申请日2016-06-15
分类号H01L29/786;H01L27/32;H01L27/12;G02F1/136;
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 15:58:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-12
公开
发明专利申请公布
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