玻璃芯多层配线基板及其制造方法

摘要

提供一种更简单的玻璃贯通电极，并且提供与此后的贯通电极的可靠的电连接。具有：玻璃基板，其设置有孔径从第1面侧趋向第2面侧而减小的贯通孔；贯通电极，其沿贯通孔的侧壁而配置；以及层状构造体，其分别形成于玻璃基板的两面，第2面侧的层状构造体形成为将贯通孔封堵的状态，构成贯通孔的第2面侧的底部部位，贯通电极具有3个层，3个层中的第1层配置于贯通孔的侧壁的玻璃第1面侧的一部分、以及将贯通孔的第2面侧的开口部封堵的贯通孔的第2面侧的底部部分的一部分或整个面，3个层中的第2层配置为将第1层及从第1层露出的贯通孔的侧壁、以及贯通孔的第2面侧的底部部位覆盖，3个层中的第3层配置于第2层上。