基于朗缪尔探针闭环控制的等离子体电源

摘要

本发明公开了一种基于朗缪尔探针闭环控制的等离子体电源，其包括脉冲电源、直流电源、控制单元以及朗缪尔探针；控制单元的信号输入及调解模块分别与脉冲电源的IGBT斩波模块之输出端、直流电源的IGBT开关模块之输出端以及朗缪尔探针连接；移相PWM输出模块分别与脉冲电源的第一逆变模块和直流电源的第二逆变模块连接，PWM输出模块分别与脉冲电源的IGBT斩波模块和直流电源的IGBT开关模块连接。本发明主要解决PVD镀膜真空室内的负载变化没有实时反馈给等离子体电源的问题；本发明形成闭环控制，实时调整脉冲电源和直流电源的输出，其控制精度高，保证了PVD镀膜过程的高质量及稳定进行。