一种红外宽波段可调谐泰曼-格林干涉仪及方法

摘要

本发明提供了一种红外宽波段可调谐泰曼‑格林干涉仪及方法，涉及干涉仪技术领域，能够利用其参考臂长度可调的优势，弥补可调谐激光光源相干性不足的缺陷，从而实现了从近红外直到12μm的宽波段干涉测量；该干涉仪的红外可调谐激光光源、合束镜、聚焦镜组、针孔光阑、准直镜组、测试适配镜组和标准平面镜依次光路连接；待测光学器件设置在测试适配镜组和标准平面镜之间的光路上；准直镜组和所述测试适配镜组之间的光路上设有分束镜；参考标准平面镜设置在精密平移台上且和会聚镜组分设在所述分束镜的上下两方，且分束镜在参考标准平面镜和会聚镜组之间的光路上；测试时，红外探测器与会聚镜组光路连接；红外探测器与上位机电性连接。