贴膜装置、贴膜方法及贴膜装置的制造方法

摘要

本申请提供一种贴膜装置，其包括：贴合部，用于将一贴合膜贴合至一待贴物的待贴面上；压电感测层，固定于所述贴合部的一侧，用于感测所述贴合部将所述贴合膜贴合至所述待贴物时受到的压力；以及压力控制部，固定于所述压电感测层远离所述贴合部的一侧，所述压力控制部包括多个调压腔，每一所述调压腔的第一端与所述压电感测层贴合，每一所述调压腔内的气压可调，从而使得所述贴合部受到的压力可调。本申请还提供一种贴膜方法和一种贴膜装置的制造方法。