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一种激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统

摘要

本发明提供了一种激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统,属于光干涉测试技术领域。该激光波长测量系统包括:分光装置,用于将待测激光分成呈预设角度布置且分光比为50:50的反射光束和透射光束,所述反射光束和所述透射光束均为平行光束;薄型斐索干涉腔、第一柱面镜和第一线列探测器,依次设置于所述反射光束的下游且均与所述反射光束垂直;厚型斐索干涉腔、第二柱面镜和第二线列探测器,依次设置于所述透射光束的下游且均与所述透射光束垂直,所述薄型斐索干涉腔的厚度小于所述厚型斐索干涉腔的厚度。本发明的激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统能够兼顾激光波长的测量速度和精度。

著录项

  • 公开/公告号CN114485964A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-05-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州联讯仪器有限公司;

    申请/专利号CN202210406141.8

  • 发明设计人 黄建军;金镖;廉哲;刘皓寒;

    申请日2022-04-18

  • 分类号G01J9/02;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 215129 江苏省苏州市高新区湘江路1508号1号楼

  • 入库时间 2023-06-19 15:18:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/02 专利申请号:2022104061418 申请日:20220418

    实质审查的生效

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