可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法

摘要

本发明公开一种可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法，涉及半导体制造技术领域，以提高温度变化的实时性。所述可调混合装置包括：混合单元和至少两个供液单元，至少两个供液单元均与混合单元连通。至少两个供液单元以不同的流量和/或不同的温度向混合单元供应溶液，以在混合单元中获得具有预设温度的混合溶液。本发明还提供一种控制装置、可调混合系统和可调混合方法。上述可调混合系统包括控制装置，可调混合装置和温度传感器。所述可调混合方法应用于上述可调混合系统。