公开/公告号CN114450552A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-06
原文格式PDF
申请/专利权人 松下知识产权经营株式会社;
申请/专利号CN202080067154.6
申请日2020-06-16
分类号G01B11/02;G06T5/00;
代理机构
代理人
地址 日本大阪府
入库时间 2023-06-19 15:10:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-06
公开
国际专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法