公开/公告号CN114397261A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-26
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申请/专利权人 光子集成(温州)创新研究院;
申请/专利号CN202111541777.5
申请日2021-12-16
分类号G01N21/35;G01N21/01;G01J3/28;G01J3/02;
代理机构
代理人
地址 325011 浙江省温州市龙湾区蒲州街道兴平路396号光电大厦5层
入库时间 2023-06-19 15:03:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-26
公开
发明专利申请公布