公开/公告号CN114368170A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉凌科航空复材有限责任公司;凌云科技集团有限责任公司;
申请/专利号CN202210034187.1
申请日2022-01-12
分类号B29C70/34;B29C70/54;
代理机构武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人范三霞
地址 430000 湖北省武汉市东西湖区金银湖地区金山大道以南综合办公楼1-19层200号
入库时间 2023-06-19 15:00:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-19
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置