高良品率加厚型单晶石英坩埚及其制备工艺

摘要

本发明公开了高良品率加厚型单晶石英坩埚，包括坩埚本体和涂覆于坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层，所述坩埚本体包括以下原料：高纯石英砂、粘接剂、偶联剂、填料，所述高纯石英砂是含有以下掺杂元素的二氧化硅材料：铝、硼、钙、铬、铁、锂、镁、钒、镍、钪、钨。本发明将高纯石英砂与粘接剂、填料和偶联剂进行混合得到的石英坩埚具有较好的粘度，粘接剂能够对高纯石英砂进行改性处理，使得石英砂的表面孔隙增加与填料和偶联剂进行混合，然后经过烧结处理后能够使得石英砂的表面得到较好的粗化效果，石英坩埚的粘度效果更好，所以石英坩埚的抗变形效果更好，具有一定抗析晶的特性，从而能够提高单晶硅生产时的成品率。