公开/公告号CN114354000A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 北京忆恒创源科技股份有限公司;
申请/专利号CN202011084308.0
申请日2020-10-12
分类号G01K13/00;G05D23/20;
代理机构北京卓特专利代理事务所(普通合伙);
代理人陈变花
地址 100192 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园B-2号楼A302室
入库时间 2023-06-19 14:57:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-15
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法