红外快速退火炉

摘要

本发明公开了一种红外快速退火炉，包括炉体，其内设有上、下两排红外灯管，相邻红外灯管之间均设有红外隔热挡片，阻隔红外光透过。本发明通过利用红外隔热挡片将各相邻红外灯管隔开，红外隔热片耐高温，且不利于红外光透过，以此减弱边缘灯管向中心位置辐射热量，将单根红外灯管隔离为单独辐射热源，较大减少红外波透过，可以有效缓解硅片加热过程中的边缘场效应，保持硅片具有良好的温度均匀性。