用于制造特别是用于核磁共振陀螺仪的蒸汽室的方法和特别是用于核磁共振陀螺仪的蒸汽室

摘要

为了提供一种用于制造蒸汽室（10）的方法，特别是用于核磁共振陀螺仪的蒸汽室（10）的方法（100），所述蒸汽室（10）是低成本的，适合于大批量生产并且是可扩展的，所述方法（100）包括以下步骤:‑提供第一晶片（11），‑将第二晶片（13）布置在所述第一晶片（11）上，‑在所述第二晶片（13）上布置间隔件（27），‑将第三柔性晶片（23）布置在所述间隔件（21）上，‑用气体（33）填充所述空腔（19），‑将所述第三晶片（23）压紧到所述第二晶片（13）上，使得所述间隙（25）至少在所述空腔（19）的区域中闭合，‑将所述第三晶片（23）与所述第二晶片（13）连接。