载物台位置控制装置和载物台位置控制方法

摘要

抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动。用于控制机架机构(100)中的载物台的位置的载物台位置控制装置(1)具备：Y轴重心推力指令输出部(30)，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部(20)，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部(11)，其将用于指示X轴位置的X轴位置指令(x)以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令(Y1)前馈到第一Y轴差推力指令(F2)，来输出第二Y轴差推力指令(F2')；以及推力变换部(50)，其使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。