公开/公告号CN114270484A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201980099234.7
申请日2019-08-30
分类号H01L21/66(20060101);G01B15/00(20060101);G06T7/00(20170101);G06T7/11(20170101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人许静;范胜杰
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 14:43:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
公开
国际专利申请公布