一种可调狭缝装置、光刻机和调节狭缝的方法

摘要

本发明涉及一种可调狭缝装置、光刻机和调节狭缝的方法，包括：控制器、多个移动杆和多个调光窗；所述多个调光窗中的每两个在第一方向上相对布置，形成一对调光窗，每一对调光窗在垂直于第一方向的第二方向上呈依次排列；所述多个移动杆中的每个对应连接一个调光窗；所述控制器连接所述多个移动杆。通过控制器控制调光窗的透过率，不需要使用电机控制过滤棒移动，可以缩小透光窗的尺寸，增加透光窗的数量，从而快速且细微的调整关键尺寸一致性。并且，还能够提升产品的收率。