公开/公告号CN114253088A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN202111439285.5
申请日2021-11-29
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人王晓玲
地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2023-06-19 14:42:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-29
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 单晶生长方法和单晶生长坑
机译: 多晶硅储存夹具和制造多晶硅的方法